二手 LAM RESEARCH 4500iB #9250093 待售

LAM RESEARCH 4500iB是一种高端蚀刻器/asher设备,专为对小型、精确的几何特征（如集成电路的接触窗）进行高精度蚀刻而设计。该系统配备了各种自动控制和蚀刻工艺选项。该机组集成了水平反应堆级与单片加热器，以及先进的控制电子和运动控制软件。该机专为薄膜和厚膜技术而设计，可配置复杂的长宽比。该工具支持使用各种蚀刻化学方法的正面和背面蚀刻技术，包括CF4、氧气、氙气、CHF3和氟化氢。该资产占地面积小,设计轻巧,可轻松集成到现有的制造系列中。该模型的高精度运动控制设备能够以高达0.1 µm的分辨率和高达每秒1000步的速度控制线性和旋转运动。该系统能够提供干净、无氧化物的表面,蚀刻深度可达1 µm。对于自动化功能,该设备配备了自动端点检测机,用于监视蚀刻进度,并在预定的蚀刻深度或其他工艺条件下停止蚀刻过程。4500iB还具有先进的过程监视包,该包由众多传感器组成,用于监视过程参数,如压力、温度、电压和电源。可以记录这些数据,以便立即或在处理后进行检查。该工具还包括自动"零点切断"功能。此功能可确保在电气连接中断时蚀刻过程自动停止。这样可以确保蚀刻过程不会无限期地继续下去,从而防止晶圆受到热损坏。资产还配备了自动晶圆装卸模型，方便快速方便的晶圆交换。最后，该设备采用直观的图形用户界面，便于流程参数编辑和监控。这允许更快的设置和转换时间,从而减少了对操作员干预的需求。总之，LAM RESEARCH 4500iB是一个功能强大的蚀刻器/asher系统，适用于小几何特征的高精度和自动蚀刻。