二手 LAM RESEARCH 4520 XL #293625775 待售

LAM RESEARCH 4520 XL是一种最先进的蚀刻器和灰化器，旨在实现先进微电子材料的精确和可重复处理。适用于多种材料和工艺，从压电晶体到复合半导体。LAM RESEARCH 4520XL在长达200毫米的6"或8"晶片上提供快速、高效的处理,不会造成晶片断裂,从而实现超高吞吐量,而不会牺牲生产力或重复性。4520 XL使用先进的蚀刻和灰化技术来实现可靠和可重复的处理。它的高精度控制系统最大程度地减少了可变性,并提供了对确定良好蚀刻或灰化性能的参数的精确控制,从而确保了可重复的结果。4520XL完全可编程,可以轻松设置、调整和微调参数,以符合工艺要求。LAM RESEARCH 4520 XL具有高功率密度等离子体源，在蚀刻和灰化应用方面具有更大的灵活性。它还具有变频电源,可提供高达24kW的峰值功率级别,具有0-1000V源电压范围和0-10A源电流范围。即使使用具有挑战性的材料,此功率范围也可实现快速、高效的蚀刻和灰化。LAM RESEARCH 4520XL配备了高精度位置传感器设备，保持样品位置精度，确保可重复结果。它还包括一个高效的气体输送系统和一个带有自动泄漏检测机的综合气体管理单元。4520 XL还配备了自动化清洁工具,能够在用户干预最少的情况下实现多个清洁周期。该资产还具有石英加热器、晶圆温度传感器和可编程晶圆旋转等可选功能，以实现高质量的清洁性能。4520XL易于操作和维护,板载显示器清晰易懂。它被设计为可靠、高效的蚀刻器和灰化器，非常适合大批量生产以及更复杂的研发过程。