二手 LAM RESEARCH 4520 XL #9292773 待售

LAM RESEARCH 4520 XL Asher/Etcher是一款设计用于半导体行业的高度先进的设备。它是一种双室设备，非常适合干湿蚀刻工艺。此系统的典型任务包括金属蚀刻、扩散处理和晶体蚀刻。该单元可用于沉积和蚀刻硅、铝等金属合金，精度和精度都很高。LAM RESEARCH 4520XL利用独特的等离子体工艺精确控制蚀刻深度，实现了广泛的应用。其先进的内置能力，如等离子体脱粒和金属电阻退火，使得它更容易创建复杂的产品结构。该机还具有灵活的腔室设计，可以处理大量材料。4520 XL有多个高级反馈和控制系统,可以对整个过程进行监控。这包括晶圆物理和化学状态的实时可视化，以及运行全范围过程模拟的能力。这使得维护每个蚀刻作业的一致性以及更快的周转时间变得更加容易。此外，4520XL还有一个集成的基于激光的珠形分析工具，用于测量蚀刻深度和宽度。这样可以精确控制蚀刻深度,如果需要,可以改善基板轮廓。该资产还利用三层远程监视功能,使用户能够远程访问模型的现场数据,从而更轻松地排除流程问题。LAM RESEARCH 4520 XL还提高了对流程变更的适应性,并扩展了每个作业期间微调参数的配方选项。这有助于优化蚀刻过程并产生有价值的结果。设备还具有内置的边缘排除功能，有助于节省去除边缘所花费的时间和金钱。总体而言，LAM RESEARCH 4520XL是一个高度先进的蚀刻系统，旨在满足半导体行业的严格要求。凭借其强大的设计和先进的控制能力,该设备可实现快速准确的结果,使其成为任何工业运营的宝贵资产。