二手 LAM RESEARCH 4520 XL #9374770 待售

LAM RESEARCH 4520 XL是一种用于高级介电蚀刻和浅层晶片清洗的蚀刻/灰分设备。它旨在以无与伦比的精度、速度和可重复性执行高精度的蚀刻和清洗过程。该系统配备了双摩擦驱动垂直直线级，以确保晶片在加工过程中的高精度和一致对准。该蚀刻器/asher配备了一个光学单元，提供可靠的过程数据分析和控制。此外，LAM RESEARCH 4520XL能够同时处理多个晶片，非常适合大批量生产应用。蚀刻器/灰化器装有氢基等离子体发生器，能够进行氧基蚀刻或灰分操作。发电机装有静电卡盘（ESC），可以保持和精确定位晶片，确保均匀蚀刻质量。此外,发电机还具有增强型介电蚀刻（EDE）功能,可提供高度精确的蚀刻功能。此外，发电机装有基板径向输送站（SRDS），以确保最佳和一致的晶圆处理。晶圆可以以每小时30个晶圆的最高速度通过机器加工，并经受持续监测的石英温度，确保高质量的结果。4520 XL旨在为最具体的流程需求提供卓越的性能。它具有板载、智能的过程控制和完整的过程序列创建功能。它还配备了无与伦比的诊断功能，让用户的工具性能最大化。此蚀刻器/asher还可以轻松地与批处理管理系统以及流程队列集成。资产还配备了全面的配方创建和管理工具，以帮助用户以每片或每批次的方式创建和管理配方。4520XL是一个可靠、准确和可靠的蚀刻/灰分模型,能够提供最高质量的结果,同时以极具竞争力的价格提供最佳效率。它非常适合半导体、太阳能和硬盘驱动器制造等多种行业的高精度和高容量生产应用。