二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #293825710 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一款针对各种半导体蚀刻和灰化应用的最佳性能而设计的蚀刻器/灰化器。该单元支持广泛的底物，并且与工业中许多现有的化学和工具选项兼容。4520 XLE设备专为快速吞吐量而设计，典型周期时间在2至5分钟之间，使其每小时可处理多达500个晶圆。该系统能够运行各种气体，如CF4、SF6、NF3、O2和其他化学物质。LAM RESEARCH 4520 XLE由坚固的组件构成,以确保其整个生命周期的稳定性能。它采用水平安装的电抛光不锈钢腔室和石英淋浴头，具有优异的蚀刻均匀性。蚀刻器连接到中央控制面板,该面板允许配置和控制蚀刻和灰化参数,包括温度、压力、气流和晶圆偏置。该单元还包括腔室温度和压力传感器、气体关闭阀和联锁机等安全功能。4520 XLE具有快速清理和晶片加载站,旨在最大程度地减少停机时间,并使解决方桉更改变得快速、轻松。由于自动进行资产诊断和故障排除，该室可以迅速撤离，并且能够以最小的停机时间维护该工具。该模型旨在产生最小的污染，使其成为关键蚀刻和灰化应用的绝佳选择。LAM RESEARCH 4520 XLE是一种用途广泛、可靠的设备,非常适合工业和研究应用。它拥有卓越的性能,坚固的结构,以及快速轻松的维护过程。该装置结构可靠、高效，为优化蚀刻和灰化效果提供了稳定稳定的平台。