二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #9172983 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一种极可靠的asher/蚀刻设备。该系统非常适合半导体制造、医疗设备元件、汽车传感器和光学元件等应用。4520 XLE提供了灵活性和覆盖多个过程区域的能力。LAM RESEARCH 4520 XLE以其低调、开放的架构设计提供了用户友好的体验，使单片、中型批量、大面积的工艺配方成为可能。该单元具有多腔操作功能，允许用户在灰分、原位计量和其他过程之间主动切换。该机还具有易于配置的电气模拟器平台，使其高效、准确。4520 XLE通过直列式湿蚀刻工艺提供了卓越的生产率,并且能够处理每个卡带多达8个晶圆进行批处理。该工具具有独特的集成扫描对齐器资产,能够达到100%的利用率,使其能够持续监控和清洁蚀刻表面。该模型还包括一个预先规划的腔室组件布局，以确保便于腔室进入。LAM RESEARCH 4520 XLE具有很高的可靠性，其PVD沉积陶瓷涂层提供了长期的使用寿命。这种涂层耐腐蚀，不会受到长时间暴露于苛刻化学物质的影响。此外，该设备还具有自动晶片负载锁和冷却器气密穿孔系统，可降低因意外夹杂而导致腔室拒绝的风险。而且4520 XLE有一个集成的诊断单元，提供实时性能分析和过程故障分析。此外,该机器还具有模块化设计和强大的分析套件,允许用户配置和监控刀具性能和工艺趋势。集成分析平台实时提供完整的流程和设备数据。总之,LAM RESEARCH 4520 XLE是一种高度可靠的灰度/蚀刻设备,具有卓越的工艺灵活性和生产效率。该模型具有模块化设计、高级诊断和强大的分析平台，使用户能够准确有效地监控和配置设备。该系统非常适合各种应用，包括半导体制造、医疗设备元件、汽车传感器和光学元件。