二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #9173004 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一款专用于处理高级逻辑器件的高级蚀刻双磁控管蚀刻器/asher。系统提供两种处理配置选项：批处理或半连续处理。该机设计用于处理先进设备中的完全蚀刻层和部分蚀刻层。蚀刻器的分批处理使其非常适合先进的设备处理，并对所需的结果提供卓越的均匀性、原子移动性和完整的过程控制。该系统配置了一个自动化、脉冲、双磁控管蚀刻器和asher,可提供卓越的脉冲特性和卓越的均匀性,包括可调节的时基配置,以确保所需的结果。4520 XLE还包括一个先进的晶片盒式磁带，它在处理过程中提供方便的水平访问晶片，使其更加高效和易于维护。与其他工业蚀刻系统相比，该机的设计极其可靠，具有卓越的工艺重复性和均匀性，并提高了工艺产量。LAM RESEARCH 4520 XLE也是高度可配置的。它具有最先进的功能,可提供多种用户选择的工艺参数,包括蚀刻速率、压力和极性、选择性和吞吐量。该机设计方便快捷维护，可容纳一系列维护工具和更换部件。此外,4520 XLE还配备了高级安全功能,有助于确保用户数据的维护和安全。LAM RESEARCH 4520 XLE是任何先进设备处理项目的理想选择。其可靠的性能、卓越的均匀性和工艺控制选项,以及处理完全蚀刻和部分蚀刻层的能力,使其成为理想的解决方桉。