二手 LAM RESEARCH 4520 XLE #9188552 待售

LAM RESEARCH 4520 XLE是一种设计用于研究实验室和生产设施的高性能蚀刻或灰化仪器。XLE采用先进的双板驱动设备,为低温蚀刻提供了卓越的精度、准确性和可重复性。其极端的低温蚀刻能力，加上进行变速蚀刻的能力，使得它非常适合用于研究和生产应用的蚀刻基材。直观的用户界面允许精确的程序设置和系统监控，而集成的实时氮（N2）控制单元则确保了过程的可重复性。XLE的专有控制机器和多级等离子体控制算法允许精确的蚀刻控制。在蚀刻过程中，它的多个夹紧系统提供了精确、精细的基板对准。XLE提供了多个测试台选项,允许用户配置该工具,以便在不同的基板上执行蚀刻或灰化过程。集成的数据采集和监控资产允许用户在蚀刻过程中确保可重复的条件，而电弧检测模型则确保蚀刻过程中的安全和质量控制。除了其双板驱动设备外，XLE还具备多项附加功能，使性能最大化。它的模块化设计使得它可以很容易地集成到现有的系统中，其集成的真空控制系统确保了室内的精确压力和流量。XLE配备了大功率红外成像单元，允许在整个过程中进行精确的温度控制。此外,XLE还提供了一个远程诊断机器,用于监视腔室内的状况。4520 XLE是一种先进的蚀刻和灰化仪器,具有卓越的精度、准确性和可重复性。其先进的双板驱动工具可实现精确的蚀刻控制，集成的实时氮气控制资产可确保过程的重复性。它的模块化设计使其能够轻松集成到现有系统中，而其红外成像和电弧检测系统则确保了准确和安全的蚀刻。远程诊断模型提供对腔室状况的实时监控，允许精确控制。