二手 LAM RESEARCH 4520 #131594 待售

LAM RESEARCH 4520 蚀刻器/asher是一种高性能、多用途的蚀刻/灰烬系统,旨在沉积和去除层层材料,从而在单面和双面晶片上创建非常精确的图样。它能够同时蚀刻和粉刷各种材料，如金属、电介质、聚合物和陶瓷。4520由多个加工室组成，包括蚀刻/灰烬模块、源控制、预清洁室和后清洁室。蚀刻/灰分模块装有一束反应性化学物质。该梁由动力梁转向驱动，从多个角度和深度指向基板。这样就可以以较高的生产率从晶片中控制、精确地去除层。源控制模块是一个可调的远程腔室，可以向蚀刻/灰烬模块提供不同组合和浓度的气体溷合物流动。这允许详细控制蚀刻/灰分过程。预清洁室用于在基板进入蚀刻/灰分模块之前清除基板上的残留物。这个腔室采用化学、高温和机械过程的组合，以确保晶圆在加工前是干净的。后清洁室还用于清除蚀刻/灰烬模块中留下的残留物。该陷阱室采用了一系列过滤器，以确保在晶圆退出之前，所有残留在蚀刻/灰分模块中的颗粒物或残留物都被清除。LAM RESEARCH 4520是一种适应性强、精密、可靠的蚀刻/灰分系统。它具有强大的横梁转向和精确的多向和深度控制横梁。它的多个工艺室提供对所使用的化学物质的精确控制以及清洁的预处理和后处理。这使得4520成为高效、精确的蚀刻/灰分系统。