二手 LAM RESEARCH 4520 #199859 待售
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ID: 199859
晶圆大小: 8"
TCP oxide etch system, 8"
Can be converted to 6"
Mounting: bulkhead
Software: Envision 1.52
Indexers: HINE
AC box: -002
Gas box: orbital welded
Clamping: ESC
Backside helium: close loop
Generator: PDW 2200
RF match: LOFAT
Endpoint: monochrometer
MFCs: Unit 1660
Gas config:
Gas 1: Ar 1000
Gas 2: N2 200
Gas 3: O2 200
Gas 4: CH4 200
Gas 5: CHF3 50
Gas 6: SF6 50
Gas 7: O2 1000.
LAM RESEARCH 4520 蚀刻器/asher是一种先进、全自动和数字控制的等离子体蚀刻器/asher,用于各种半导体和微电子材料。这台机器具有多种独特的功能,可提高用户的工作效率、准确性和精度。4520采用坚固耐用的材料建造,可提高其长期使用。机器组件易于访问和互换,因此可以在最短的停机时间内实现维护和维修。数字控制面板允许对处理参数进行高效、精确的控制。LAM RESEARCH 4520 蚀刻器/asher提供的高处理精度和可重复性进一步使制造更好和更高质量的设备成为可能。数字控制面板还具有不同的密钥和编码器,使操作员能够立即调整蚀刻持续时间、压力和组成。机器有两个独立的腔室,以适应双晶片处理在一个操作。该装置能够使用各种蚀刻气体和加工流体对厚膜和薄膜基板进行化学和物理蚀刻。可用于修饰和蚀刻多种材料,包括硅、砷化氙等半导体材料。4520配备先进的安全功能,保护操作员和产品免受危险条件的侵害。机器内置的安全规定包括气爆监测、压力安全联锁、紧急关闭按钮等。此外,通过使用完全密封的系统,任何正在使用的危险材料或真空都被包含在内。该机器用途极为广泛,其模块化结构允许用户配置系统以满足他们的流程需求。此外,LAM RESEARCH 4520 蚀刻器/asher的设计符合国际安全法规标准。这样可以确保用户以安全、可靠和合规的方式操作其计算机。最后,4520蚀刻器是制造半导体器件和微电子的理想选择。凭借其先进的安全特性、精确精确的数字控制面板以及方便的维护和维修,这台机器为用户提供了极致的高生产率工具。
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