二手 LAM RESEARCH 4520 #293595659 待售

LAM RESEARCH 4520是一种由单晶片、低压、等离子体活化组成的蚀刻器/灰化器，能够蚀刻或灰化一系列材料，包括电介质、聚酰亚胺、玻璃、金属和硅。它是一种紧凑的设备,具有6英寸晶圆尺寸的容量,可提供高精度、可重复性和过程灵活性,以减少设备的昂贵和耗时的更改。该系统具有低压、等离子体活化过程，旨在减少表面污染，提供高质量、各向异性的蚀刻速率和深度均匀性。4520也是一个节能单元，并配有闭环过程控制机，以确保蚀刻过程的完全均匀性和控制性。此外,它还包括用于高性能蚀刻/灰分循环和/或等离子体处理的高功率微波源。该工具包含的专用DART（动态蚀刻速率控制）技术旨在监测和控制蚀刻进行的速率,通过蚀刻过程稳定等离子体和均匀性。这样可以确保无论工艺要求如何,都能创建最高质量的部件。此外,CPV（闭环过程验证）功能允许快速、轻松地采用新配方,加快资本回报和整体过程优化。该资产能够处理各种晶圆类型以及各种材料，允许不同的蚀刻和灰度等级。用户友好的GUI允许根据客户的应用程序要求定制蚀刻/灰分配方。蚀刻器/asher可以在批处理模式或连续模式下使用。LAM RESEARCH 4520以极具竞争力的价格提供卓越的通信和支持服务,确保客户的最高满意度。