二手 LAM RESEARCH 4520 #9029521 待售

LAM RESEARCH 4520是一个最先进的蚀刻师和asher。它是一系列高级蚀刻和灰烬工具的一部分,可为制造商提供对其工艺的精确控制。4520是一种干燥、正蚀刻设备，意味着材料被气体驱动的等离子体源去除。它能够在多种材料上高精度地产生精确的特征，对特征、深度和表面光洁度进行精确的控制。LAM RESEARCH 4520具有模块化设计,在此过程中具有很大的灵活性。它可以配置用于广泛的蚀刻和灰化应用,包括化学/机械抛光（CMP）、掩蔽/揭蔽、微结构和快速热处理（RTP）。它还具有处理各种基材形状和尺寸的能力，使复杂设备的生产过程均匀。4520具有集成的过程控制系统,可精确控制所有因素,包括过程的时间、温度和压力。这使得在生产过程中实现高质量并有助于减少缺陷成为可能。该单元还具有多区域He-Ne激光干涉仪，可以精确测量基板位置。LAM RESEARCH 4520还包括高级安全功能,如必要时停止过程的故障安全机器。该工具还包括各种诊断功能,包括实时成像,用于检查流程参数和区域。这有助于确保流程的一致性和可重复性。最后，4520是一种先进的蚀刻和灰化器，为制造商提供了对其蚀刻和灰分工艺的精确控制。它的模块化设计和先进的过程控制资产为生产复杂和高质量的设备提供了极大的灵活性。它还具有诊断功能和安全功能,以确保生产过程中的质量一致。