二手 LAM RESEARCH 4520 #9029728 待售

LAM RESEARCH 4520 Asher/Etcher是一种先进的、精确的真空晶片加工工具，用于制造集成电路和其他电子设备。该设备能够生产多种材料，如聚硅、聚酰亚胺、铬、低k电介质和掺杂氧化膜。4520采用一个蚀刻系统，该系统具有非常快速和精确的扫描罐，加上一个运动控制单元，可以进行精确和可重复的过程。扫描罐包括高速惰性气体，保证了良好的重复性、均匀性和吞吐量。LAM还具有两级等离子体光源，具有快速而坚固的蚀刻，低温感应溅射、深各向异性蚀刻和优良的去磨质量。等离子体源非常紧凑，具有可变功率，可用于一致和可重复的过程。LAM RESEARCH 4520还具有可调基板温度控制机，在整个晶圆加工周期提供精确的热管理。一个集成的隧道淋浴允许快速处理时间，同时提供高效的冷却和温度控制。该工具还提供了一些可选的工艺增强选项，如惰性气体压力监测和等离子体表征以及蚀刻潜能监测。4520还内置了用于监测资产性能和提供各种流程参数实时反馈的软件。这样就可以不断监测、调整和优化过程,以最大限度地提高最终产品的产量和质量。此外，软件为各种蚀刻工艺提供了配方，为每个要执行的单个工艺提供了理想的条件。LAM RESEARCH 4520是为生产先进集成电路和其他微电子器件而优化的精密蚀刻和灰化工具。该模型设计用于各种材料的快速、精确处理，利用两级等离子体源提供快速和深度蚀刻以及优异的去薄性能。可调基板温度控制设备和集成的隧道淋浴为高达6英寸的晶圆提供了理想的环境。各种流程增强选项提供了一个可重复、可靠和高效的流程。集成软件提供实时反馈和过程优化,以确保最终产品的产量和质量。