二手 LAM RESEARCH 4520 #9145513 待售

LAM RESEARCH 4520是一款为生产半导体器件而设计的健壮等离子体蚀刻器/asher。该设备配备了一个单室，允许高效和可重复的蚀刻过程。该工艺室采用金刚石-金属溷合屏蔽设计，能够实现低功率和高功率的应用。4520有数字控制器，等离子体功率、温度、压力等参数都可以调节储存。此蚀刻器通过通过以太网连接的PC控制,允许用户友好的编程和板载配方开发。作为增加的安全功能，LAM RESEARCH 4520有一个集成的安全系统，可以在触发警报时远程关闭设备。4520有一系列改进蚀刻工艺的配件，包括远程诊断工具、惰性气体再循环机和自动晶圆传输工具。此外,资产还具有自动端点检测模型,以确保晶圆处理的一致性和可重复的结果。LAM RESEARCH 4520利用卤素或氮基等离子体化学进行蚀刻。它具有多种可以蚀刻的材料，包括聚合物、SiO2、Si3N4、PECVD层和金属层。该设备还能以每分钟1000埃的速率蚀刻铜。除蚀刻能力外，4520还可用于高长宽比和各向异性蚀刻。它还提供了背面研磨和挖沟功能，可用于改进设备处理。总体而言，LAM RESEARCH 4520是一个灵活可靠的蚀刻/asher系统，是生产质量最高的半导体器件的理想选择。此设备强大且用户友好,确保了可重复和一致的结果,非常适合大批量生产应用程序。