二手 LAM RESEARCH 4520 #9145859 待售
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LAM RESEARCH 4520 蚀刻器/asher是一种先进的加工设备，适合工业使用。它能够在单个工艺室内使用一系列材料进行蚀刻、平面化和灰化,从而提高生产吞吐量和提高工艺灵活性。4520的容量为24个400mm晶圆载流子，同时具备化学和干法加工能力。对于化学加工，用户可以从IPA、KOH和TMAH等多种液体中进行选择，而对于干燥加工，LAM RESEARCH 4520可以与N2和O2一起使用。4520是使用模块化控制设备（MCS）构建的,它允许用户从计算机控制过程参数。这允许高级流程优化,并减少了手动干预的需要。LAM RESEARCH 4520还具有旨在保护人员的高级安全功能。它有一个防止室内超压情况的压力限制室系统和一个防止室内热量积聚并减少火灾危险的热断裂装置。4520还配备了自动泄漏检测机,其设计目的是在工具中的任何泄漏物失控之前对其进行检测。在性能方面，LAM RESEARCH 4520在连续20个晶圆中具有广泛的蚀刻速率和± 5%以内的可重复性。既适用于小批量生产，也适用于大批量生产，可用于加工直径范围在100毫米至200毫米之间的晶片。它还拥有较长的平均失败率，这使得它非常适合连续、不间断的操作。总体而言,4520 蚀刻器/asher是一种高性能、工业级的加工设备,能够对一系列材料进行蚀刻、平面化和灰化。其能力使其适合大批量生产，先进的安全特性确保人员安全。
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