二手 LAM RESEARCH 4520 #9167744 待售
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ID: 9167744
Oxide etchers, 8"
With auto load tape
Tool type: R/B 4520
Bulkhead
Short frame
Indexer type:
Send: Standard
Receive: SAMSUNG (SW2-Mco5086)
Control system
Envision
Remote AC box, P/N: 685-029442-031
ADVANCED ENERGY PDW-2200 Generator
Autotune
Ceramic ESC
Clamped system: ESC
Upgraded variable gap: Optical
Monochrometer: Dual
Dual monochrometer: Single
Upgraded load station
AC Box, P/N: 853-017200-002
Orbital (Extend)
MFC #1 / UFC-8160, Ar / 1 slm
MFC #2 / CF4 / 100 sccm
MFC #3 / CF3 / 50 sccm
MFC #4 / N2 / 200 sccm
MFC #5 / OZ / 30 sccm
MFC #6 / Ar / 200 sccm
Helium cooling: V90, V92
Connectors: Plastic type
Heartbeat PCB, P/N: 810-017012-002
Bulkhead / Ballroom components
Covers
Indexers
Load station
ELL
Gap drive system
Chamber
XLL
Gas box
AC / DC Box
Control enclosure
Generator cart / On board
Upper and lower match enclosure
Pressure control
Operating system
PLC and Signal tower: 3-Colors.
LAM RESEARCH 4520是一种坚固可靠的先进反应堆蚀刻器/粉碎器,用于技术过程。其创新的设计提供了高性能蚀刻和深层反应性离子蚀刻（RIE），是深层沟槽蚀刻、双大马士革蚀刻、接触孔蚀刻等多种蚀刻工艺的理想选择。蚀刻器/asher具有模块化设计、多个过程室和高灵活性,允许用户扩展其晶圆集成过程,而无需进行额外的系统重新设计。它具有紧凑的占地面积,易于安装并适合大多数清洁室配置。该蚀刻器/asher具有精确的过程控制能力和智能硬件能力，有效地自动化了严格的过程。它支持双运行功能,并支持负载锁定克隆,以最大程度地减少热量预算并延长运行时间。4520的气体控制单元集成了全方位的诊断分析软件，提供精确的温度和压力调节。它配备了一个先进、强大的控制系统，由加热的管线和电极设计，以及一个自我诊断的错误系统，确保设备的高可靠性。LAM LAM RESEARCH 4520的等离子体源由最先进的电源供电，工作效率高，等离子体密度高。它可以在蚀刻过程中达到高选择性，并保留有图桉的蒙版的轮廓。该反应器具有良好的蚀刻均匀性和极好的阶梯覆盖范围，而且成本最低的工艺过度蚀刻和边缘串珠。LAM 4520是一款非常先进的蚀刻器/asher,可完善任何蚀刻或灰化工艺。它为用户提供了完全精确的控制和自动化、灵活的集成过程和高可靠性，从而实现了最佳的晶圆处理性能。
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