二手 LAM RESEARCH 4520 #9189989 待售

LAM RESEARCH 4520是一种蚀刻器或灰化器，其中等离子体或气体取代了传统蚀刻或灰化过程中使用的液体或糊状化学品。该设备主要用于半导体器件的制造和测试。它是一个垂直系统，通常宽24"至30"，包括蚀刻室、真空室和辅助设备。它一般完全由不锈钢或铝合金构成，以便在操作过程中保持洁净的房间环境。蚀刻室有一个淋浴头式射频配电装置，最高可运行200V。这是一个等离子体流的动力，它面对和蚀刻晶圆的表面。真空室紧邻蚀刻室。它可以通过使用涡轮分子泵维持在低至10 mT的内部压力。使用4520，可以实现广泛的蚀刻化学。气体辅助模式提高了蚀刻光刻膜的蚀刻效率，可变电压能力也提高了。蚀刻室专门使用一种或多种CxF6（六氟丙烯气体）气体，与各种其他蚀刻气体溷合，具体取决于具体工艺。LAM RESEARCH 4520具有多重极性和片状磁场配置，允许操作员控制蚀刻的形状。气体流量计和传感器以及各种各样的温度和湿度传感器和控制系统被用于精确控制工艺参数。4520可配置多个工艺工具和各种隔离区域,以允许同时蚀刻多个晶圆类型或模具。此外，显示接口、气体溷合和输送系统、晶圆载体、百叶窗和真空系统都是为电路测试和成像要求而设计的。该单元提供对过程变量的精确控制，以确保可重复的结果，并已证明非常可靠和精确。LAM RESEARCH 4520模型具有良好的工艺控制和可重复的效果，在半导体工业中得到了广泛的应用。4520凭借其出色的等离子体生成和精密的控制机器，是半导体制造过程中蚀刻和灰化的可靠且经济高效的工具。