二手 LAM RESEARCH 4520 #9243876 待售

LAM RESEARCH 4520 Asher是一种物理气相沉积（PVD）蚀刻器，旨在生产具有高度均匀性和性能的产品。该设备能够进行蚀刻、微加工和薄膜沉积工艺。它是半导体加工所需的亚微米特性的经济高效工具。4520 Asher具有独特的特性，允许蚀刻和薄膜沉积过程之间快速过渡，优化生产周期时间。它具有先进的工艺室设计，在大晶圆尺寸上提供快速的处理时间和均匀性。整个蚀刻过程完全闭环干湿。LAM RESEARCH 4520 Asher具有双喷嘴系统，允许各向异性或逐层沉积沉积，以及非受控蚀刻。这使得它对于需要大量精度和控制的蚀刻过程特别有用。该单元可以在一次运行中处理直径最大为8英寸、厚度最大为1英寸的多个晶片。4520 Asher是一种强大可靠的工具,可提供可重复、可靠的结果。它具有较高的工艺速度和广泛的工艺选项,使用户能够快速、准确地蚀刻所需的产品。这台机器设计用于处理一系列低端产品,如横向场隔离和门切,直至最复杂的FEOL结构。LAM RESEARCH 4520 Asher为操作员提供全面的流程支持,包括全面的配方开发和监控,以及全面的车载扫描和诊断功能。此外,它还包括一些附加功能（如3D成像功能）,以及一系列自动化功能（如自动命名和跟踪功能）。总而言之，4520 Asher是一种强大可靠的蚀刻和薄膜沉积工具，能够满足广泛的蚀刻、薄膜沉积和微制造产品要求。此资产旨在提供可重复和可靠的结果,适用于各种生产环境。