二手 LAM RESEARCH 4520 #9389918 待售

LAM RESEARCH 4520是一个集群平台蚀刻器/asher，旨在提供半导体器件制造所需的精度、速度和质量控制。该设备由多个具有先进腔室控制系统和集成质量流控制器的高精度蚀刻和灰化腔室组成。4520旨在提供极快的吞吐量和可靠性，具有并行处理能力和高温处理。LAM RESEARCH 4520 蚀刻器/asher具有三个高级蚀刻和灰化室,每个蚀刻和灰化室针对不同的加工类型进行优化。等离子体蚀刻室设计用于晶圆的等离子体清洗、样品预处理、蚀刻和灰化。它能够处理直径最大为5英寸的晶片，并配有变频驱动器，用于精确控制工艺参数。超高密度腔室是晶圆超高密度蚀刻和灰化的理想选择，能够处理直径达8英寸的晶圆。它还配备了一系列先进的集成组件，用于精确的过程控制。最后，湿蚀刻室提供高精度的湿蚀刻和灰化，并配有集成层流控制器、温度控制器和压力传感器。4520上的蚀刻和灰化过程由一系列先进的组件控制，包括基于西门子Simatic S7的PLC，提供对工艺参数的精确控制。还集成了一个先进的工艺控制器，实时监测温度、时间、压力和反应条件，并提供了最大精度、精度和产量的自动工艺优化。该装置还具有先进的质量流控制器，可确保对进料气体和活性物质的精确控制，为每个蚀刻/灰分循环提供稳定的工艺参数。该机还配备了多种诊断工具，如低温扫描电子显微镜、X射线光电子光谱、残留气体分析仪和表面剖面仪。这些工具提供了对蚀刻/灰烬工艺的精确控制,从而能够准确控制工艺参数,并能够监视和排除任何工艺问题。LAM RESEARCH 4520专为极端可靠性和高温处理而设计,提供高级功能,包括多个晶片的并行处理和配方存储,以便于召回过程步骤。该工具还配备了高级流程控制软件包，该软件包提供基于配方的自动流程控制，以及优化资产的用户友好界面。此外,4520还包括一系列高级安全功能,包括一种维护模式,即使在工艺步骤失败时也能安全操作模型。总体而言，LAM RESEARCH 4520是一种先进、可靠的蚀刻和灰化设备，是半导体器件制造的理想选择。它提供极快的吞吐量和可靠性，对工艺参数进行精确的控制和先进的诊断，使其成为实现最大精度和产量的宝贵工具。