二手 LAM RESEARCH 4520 #9389919 待售

LAM RESEARCH 4520 蚀刻器/asher是一款最先进的设备,专为在蚀刻和灰化应用中提供卓越的性能而设计。4520用于半导体加工，为各种应用提供可靠、可重复的结果。蚀刻器/asher具有一个20英寸乘12英寸的大型工作室,即使是大型基板也能轻松容纳。它配备了先进的、用户控制的工艺参数，以确保所使用的特定蚀刻或灰化工艺能够达到最理想的条件。温度控制被调节到设定点的± 0.5 °C以内，从而能够获得准确和可重现的结果。LAM RESEARCH 4520还采用了紧凑、节能的设计,包括高级选项,如热边机器人处理和具有数据记录功能的远程过程监控。它通过利用射频等离子体源和完全可调节的闭环反馈控制来实现可重复、高质量的过程,在整个基板上提供准确、一致的蚀刻均匀性。为了增强安全性，它配备了真空排气监控器、屏蔽墙等多项安全功能，以防止电气危害，以及在运行过程中防止开门不当的联锁装置。此外,4520还具有可更换、耐用的304级不锈钢内饰,便于清洁和延长使用寿命。LAM RESEARCH 4520除了易于使用和维护外，还与一系列工艺气体和液体前体兼容。非常适合深蚀刻、灰化、RIE工艺等应用，以及特定的底物如碳化硅、砷化氙、氮化铵、二硫化铵等多种用途。总体而言,4520 蚀刻器/asher是一款出色的设备,能够以用户友好的方式提供可重复、一致的结果,用于一系列蚀刻和研磨过程。其先进的特性、卓越的温度控制和节能设计使其成为需要高效、可靠的表面处理操作的实验室和行业的理想选择。