二手 LAM RESEARCH 4520 #9401524 待售

LAM RESEARCH 4520是一款高性能蚀刻器/asher。它是一个为生产而设计的单晶片垂直反应性离子蚀刻器和Asher（VRIEA）系统。该系统利用电源和化学材料的专门组合来创建一致和可重复的过程，从而提供高精度的蚀刻和灰化结果。4520具有广泛的不同过程。它具有干净、厚实的干蚀刻工艺、可选集成的灰化器,并且具有热性能。它还具有用于配方设置、数据收集和管理以及系统诊断的高级界面。这样可以实现广泛的流程灵活性和自定义配置。LAM RESEARCH 4520专为各种晶片尺寸而设计。它与1-6英寸的晶片兼容,能够从NMOS、PMOS或氧化物类型的材料中获得厚度。它具有狭窄、均匀的蚀刻,可最大程度地减少临界尺寸,精度为+/-0.25微米。4520利用等离子体电源和化学装置实现所需的蚀刻和灰化工艺。其气体溷合物是针对每种工艺量身定制的，可以配置成多种组合。其高频可变功率发电机确保了一个统一和一致的过程。LAM RESEARCH 4520还包括一个高级软件应用程序来帮助管理蚀刻和灰化过程。此软件可帮助在蚀刻配方中创建顺序步骤,收集生产数据并查看工艺参数。它还可以帮助对蚀刻过程进行故障排除和自动化。通用的4520专为生产当今最小、最具挑战性的产品而设计。其集成的软件和先进的工艺使其非常适合高精度蚀刻和灰化。它可以提供所需的重复性和统一性，以确保取得最佳结果。