二手 LAM RESEARCH 4520B #9278088 待售

LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher是一种用于半导体器件制造的高性能、3个腔室、直列式asher/etcher。4520B有一个独特的独立的滑动载荷锁，它为单个腔室的使用、温度、压力和配方开发提供了灵活性。蚀刻器/asher完全配置了安全系统,并具有内置的自我诊断功能。它旨在提供可靠的高产设备，并具有平稳统一的处理能力。LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher的平面设计紧凑,最多可同时容纳三个加工室,占用空间最小,并且易于提供通信接口。该蚀刻器具有主动均匀性控制技术、专用等离子体源和先进的气体输送设备。4520B的三个加工室，一个asher，一个恒温或可编程的温度蚀刻器，以及可互换的湿润，使用户能够优化不同的参数，如要蚀刻的材料，温度和压力，等离子体功率，蚀刻均匀性，以达到最优的吞吐量和产量。LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher具有精确的可记录配方控制功能,用户可以快速轻松地复制精确的流程。它内置支持室一级和配方一级的质量控制，并具有用于配方优化和腔室性能的实时腔室诊断系统。此外，它还提供各种工艺参数，包括温度、压力和气流，并对各个腔室进行精确控制。此外，4520B还配备了高效的安全功能，包括气体安全壳、室内关闭、自动压力控制单元和照明机器。它还提供免提端点检测，方便资源共享，用户可以实时监控所有可用的工艺参数，包括晶圆到晶圆的可重复性。总体而言，LAM RESEARCH 4520B Etcher/Asher是所有半导体器件制造的理想解决方桉。它配备了高效的安全功能，并提供精确的控制，为统一的设备处理提供精确的配方执行。