二手 LAM RESEARCH 4526 #9135993 待售

LAM RESEARCH 4526是一款为半导体晶圆加工而设计的蚀刻器/asher。这种多功能仪器能够对包括光刻胶、金属、氧化物、氮化物等在内的多种材料进行蚀刻和灰化。它是一种用途广泛的工具，用于阵列的应用，如阵列，掺杂，等等。该系统配备了两个强大的等离子体源，使其能够在高达385 °C的最高温度范围内处理直径达200 mm的晶片。该机还具有先进的温度控制和均匀性监控功能，用户可以精确加热或冷却样品。此外,4526还配备了高速下游机器人龙门,实现了快速可靠的物料传输。该系统带有缺陷跟踪和自动洗室等高级软件功能，以及可用于将蚀刻和灰化过程调谐到不同基材的各种工艺配方。这允许用户为每个应用程序创建自定义的蚀刻配方,从而确保卓越的工艺效果。由于其灵活性，LAM RESEARCH 4526适合广泛的生产工艺。该机旨在优化晶圆吞吐量，提高产率，减少污染。此外，强大的控制套件和直观的软件大大提高了机器的多功能性和用户友好性。这使得它成为研究和行业应用的绝佳选择。总而言之,4526是一款可靠且用途广泛的蚀刻器/asher,旨在满足用户的需求。其先进的特性，加上其高性能，使得它成为任何晶圆加工实验室的明智选择。