二手 LAM RESEARCH 4526 #9249911 待售

LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch设备是一种可靠、高效的Asher/Etch系统,旨在为各种基材提供统一的加工覆盖面。这一单元是中高批量生产运行的绝佳选择，能够处理各种各样的底物，并允许广泛的工艺化学。该机设有一个机器人安装的RAIE（远程大气控制）蚀刻室以及一个IC金属化室，用于金属和电介质的沉积。机器人铰接四个独立的机器人臂，由上下臂组成，使工具既能处理错综复杂的表面，又能处理光滑的表面。4526配备了最先进的IV级工艺控制器技术之一，提供了快速的处理速度，消除了手动调整的需要。其用户友好的触摸屏界面允许用户实时查看所有流程，而流程配方和模板库则允许高度的流程可重复性和控制性。LAM RESEARCH 4526还具有先进的安全功能，如物理安全钥匙、车载安全激光栅格以及防错对准、防埋保护功能。此外,该资产还包括在线检查和详细的过程监控功能,允许满足最高需求的生产运行。4526型号具有广泛的工艺能力,包括反应性蚀刻、抛光、脱墨、退火和自旋/隔离清洗。它具有+/-1微米精度的高精度能力，允许小半导体元件的精确修剪和形成。此外，设备的高真空密封蚀刻环境确保了均匀的轮廓和最高的工艺产量。总体而言,LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch系统是一种高效可靠的中高批量生产运行解决方桉。它的高级功能和用户界面可实现高水平的工艺控制,确保在广泛的基板上实现统一的加工覆盖面,并获得优异的工艺产量。