二手 LAM RESEARCH 4528 #9011007 待售

LAM RESEARCH 4528是一种为硅片的高精度蚀刻而设计的蚀刻器/asher设备。该系统允许精确蚀刻或灰化硅片在两个完美定义的图样和随机模式。该单元可同时支持批量和单片加工，精度高达1微米。蚀刻过程中使用的压力、温度和掺杂剂浓度可以精确调整，以满足手头应用的需要。机器由主室和上室两个室组成。主室容纳等离子发生器、气体裂解器、淋浴头喷射器、高电流电源等部件。上室包含装卸篮或吊舱和预调理工具。主室中产生的等离子体用于蚀刻上室中的晶片，而上室中存在的孵化资产则有助于保持蚀刻过程的一致性。该模型在70-150摄氏度和1-10托尔的压力范围内运行。凭借其集成的工艺控制和现场诊断能力，设备能够提供连续一致的蚀刻工艺。集成过程监控允许对蚀刻过程进行紧密而准确的控制，能够检测过程参数的任何变化，如温度、压力或掺杂剂浓度，并在几秒钟内进行校正。该系统还能够对均匀度高达1微米的硅片进行精确蚀刻和灰化。该单元还提供均匀的气体分布，确保晶片均匀均匀的蚀刻。气体质量在整个蚀刻过程中被精确控制，提供一致的蚀刻和均匀的表面光洁度。机器还允许在一个过程中蚀刻多个晶片，从而无需手动处理和加载每个晶片。4528是为硅片的高精度蚀刻而设计的先进蚀刻器/asher工具。由于其精确的工艺控制、精密的蚀刻和均匀的气体分布，这一资产因其可靠的结果和可重复性而受到许多企业的青睐。