二手 LAM RESEARCH 4528 #9136807 待售

LAM RESEARCH 4528 Asher/Etcher是一种用于半导体制造的自动等离子蚀刻工作站设备。该机设计用于精密等离子体蚀刻和取向器拆卸,具有可重复的效果.它具有多区域、高分辨率、自补偿端点检测设备。该单元能够以低频或高频模式运行。该装置由一个摆臂和两级真空系统构成，其中包括一个高温的独立腔室。真空装置提供可密封和可净化的真空操作，为操作提供安全的环境，允许无污染的操作和过程。它还具有一个活动的圆形目标卡盘与射频架.4528支持广泛的工艺能力。它能够蚀刻多达350毫米的晶圆。它具有先进的第一步蚀刻机，配置了多套独立的气体喷射器。先进的第一步蚀刻有助于提高蚀刻的重复性和一致性。它还有一个长期稳定的工具，用于可靠的蚀刻和水和化学品回收利用的原地资源回收。此外，该装置还具有较高的等离子体惰性气体流量，可进行一致的蚀刻速率控制。该装置配备了综合自动化资产，用于晶圆的游行和处理。它具有用于常规操作和自动验证的IQ/OQ/PQ模型。自动化功能包括晶圆映射、盒式磁带到盒式磁带托盘传输、迷你环境模式和快速过程监控。该设备还配备了自动启动设备，用于维护和缩短启动时间。LAM RESEARCH 4528旨在支持各种配方和工艺,包括标准蚀刻、溷合物种蚀刻、各向异性/各向异性蚀刻、深度蚀刻、抗蚀条和深层清洁。它支持各种蚀刻气体，如氧基、氟碳基、惰性基和氯基。它还具有较低的系统总拥有成本和较低的过程复杂性。它按照半导体洁净室标准制造，是蚀刻工作最抢手的工作站。