二手 LAM RESEARCH 4528 #9200106 待售

LAM RESEARCH 4528是一种着名的蚀刻/灰化设备，在半导体制造中使用了多年。它用于需要对金属和介电材料进行蚀刻或灰化的各种工艺中。它最常见的应用是在半导体晶片上对薄膜进行图样化，提供高精度的光滑ashing过程。该系统由一个数字成像阵列（DIA）供电，该阵列测量一系列光学参数，包括光强度、反射和折射。这有助于确保所需图样的精确蚀刻。相机聚焦蚀刻室，该蚀刻室有熔融化学蒸气沉积（MCVD）板提供蚀刻材料。它还有一个真空沉积装置，能够将不同的化学物质沉积到晶片表面，从而产生均匀蚀刻。4528具有内置的自动调整功能,允许用户设置蚀刻参数,而无需每次手动调整它们。这样可以消除潜在的错误并提高流程的效率。LAM RESEARCH 4528还具有内置的安全功能,可防止机器在温度过高、过压或过热等不安全水平下运行。这样可以确保微加工过程安全可靠。在操作方面，4528有一个用户友好的界面，提供完成蚀刻和灰化过程所需的所有信息。机器可以编程为以各种模式运行，如通用、逐批或单样模式。此外,LAM RESEARCH 4528还支持进一步定制特定作业的蚀刻参数。4528工具以可靠性和性能着称。它易于使用、准确、高效，在多种材料上提供高质量的蚀刻和灰化效果。资产还提供了高水平的安全性，使其成为任何微机加工过程的理想选择。