二手 LAM RESEARCH 4528i #9167075 待售

LAM RESEARCH 4528i是一种蚀刻器/灰化器，旨在将薄膜精确蚀刻和沉积到晶圆表面上。其精密的薄膜沉积工艺结合可靠的对流蚀刻，确保了可靠的处理结果。该设备提供简单高效的样品加载、卸载和处理,非常适合各种高通量应用。LAM 4528i以较低的拥有成本实现卓越的吞吐率和产品质量。它利用静电卡盘装卸技术、真空膜沉积室和内置等离子体灰烬。该系统配备了自动晶片定位单元、集成晶片卡盘环境控制机和集成溅射硬件。通过专门的气体供应和质量流量控制器，可以通过测量压力来精确控制氧气和氮气的浓度。LAM RESEARCH 4528i是为广泛的材料，包括介电，聚合物和各种金属使用而建造。刀具具有可调的源、温度和旋转速度,这样可以增加功能范围。资产还配备了额外的端口，以便将反应性气体和其他物料源泵入加工室。4528i是创新的晶圆蚀刻器/asher，提供高度的多功能性和精确度，以满足高通量生产和研究实验室的需求。该模型还易于使用和维护,确保持续可靠的处理结果。LAM RESEARCH 4528i致力于先进的技术和易于操作,使其成为各种薄膜沉积和蚀刻应用的一个有吸引力的选择。