二手 LAM RESEARCH 4600 #293764324 待售

LAM RESEARCH 4600是一种高级蚀刻器/灰化器,适用于各种半导体应用。4600的基本设计包括两个独立的灰化室，每个灰化室能够提供各种蚀刻深度、温度和化学物质。这样可以完成复杂的蚀刻过程,同时提供出色的均匀性。LAM RESEARCH 4600有专门的抽水设备，以产生更强的工具性能和减少污染。柔性泵送系统允许专用气体清洗能力、压力控制和动态气体流动感应。多个腔室能够保持过程稳定性，降低颗粒的污染潜力。4600具有多项创新功能,非常适合蚀刻和灰化应用。其独特的"干蚀刻技术"是蚀刻浅沟槽和小通风的首选，使其非常适合各种应用要求。该装置还采用了三步"干灰化"工艺，旨在通过将干氧化和干蚀刻相结合，实现高蚀刻率和低残留量。这允许去除有机的，小的特征尺寸，保形层和金属电介质具有很高的精度和方便。LAM RESEARCH 4600采用了可靠的过程控制工具,包括预测模型和特征识别,以确保质量产量。这提供了极大的精确度和可重复性,确保了流程的可重复性,同时消除了手动干预的需要。4600除了其过程控制特性外，还具有高速旋转特性，以减少蚀刻时间。这有助于加快蚀刻过程,并最大限度地减少因凹凸不均匀而形成的缺陷。该机器还具有几个用户友好的界面选项，这使得它成为入门级和高级蚀刻器/asher用户的绝佳选择。LAM RESEARCH 4600是一款先进的蚀刻器/灰化器，旨在提供广泛的蚀刻深度、温度和化学特性，以满足现代半导体应用的需要。该工具采用了强大的过程控制工具、高速旋转功能和用户友好界面,使其成为新手和经验丰富的用户的绝佳选择。