二手 LAM RESEARCH 4600 #293807556 待售

LAM RESEARCH 4600是一种最先进的蚀刻/asher设备，设计用于在广泛的基板上蚀刻、粉刷和图案化导电和非导电层。它具有生产就绪的各向同性蚀刻能力，允许工艺吞吐量和晶圆均匀性达到或超过行业标准。4600系统具有13.56 MHz电感耦合等离子体（ICP）源,用于蚀刻和灰化应用。它具有较低的射频发电机功率，允许在临界工艺层如浅层结精确蚀刻控制。腔室尺寸允许最大25 "x 50"的大型盒式磁带。它还提供了一种双频发生器，能够在氧化铝和介电硬掩模上进行蚀刻，在多种材料蚀刻配方中提供了额外的优化级别。LAM RESEARCH 4600还具有手动和自动化功能,允许客户根据其生产需求选择生产力最高的操作。它具有用于配方设置和晶片装卸的集成机械臂。该单元还使用实时自动配方优化（ARO）机进行双向参数优化，并在处理过程中进行原位调整。4600提供了具有精确配方的快速处理时间,提供了高吞吐量和最佳效果。这使客户能够通过最少的操作员干预来实现成本节约和吞吐量提高。该工具还配备了高级流程监控和诊断功能,使客户能够对其流程进行故障排除和优化。此高级资产提供了无与伦比的流程灵活性和控制能力,使客户能够生产寿命更长的可靠、高性能产品。LAM RESEARCH 4600是需要精密蚀刻和高产率且停机时间最短的应用程序的理想选择。