二手 LAM RESEARCH 4600B #9100790 待售

LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher用于半导体制造过程中的关键应用。此蚀刻器asher旨在提供可靠且统一的蚀刻和灰化功能,以帮助您的过程通过优化的过程控制以最大的能力运行。它具有自动过程集成的特点，用于运送消耗品以及主动屏蔽，以消除接触危险化学品的可能性。该设备还利用多区气体输送系统对蚀刻剂和灰烬气体进行精确的微米级控制。4600B是一个多室测试器/asher单元。它为电介质、聚酰亚胺、溅射金属等提供了特定的蚀刻能力。它还具有一个用于晶片涂层和金属氧化物蚀刻的单步腔室。该机还具有两阶段蚀刻工艺，以确保可重复的过程均匀性和最佳的控制。第一个腔室提供一个自由基蚀刻，而第二个腔室执行一个干净和温柔的完成蚀刻。LAM RESEARCH 4600B还具有过程监控功能,可帮助确保完整的蚀刻过程保持在规格范围内。此过程监视工具包括一个光圈监视器,用于测量蚀刻速率,同时还提供整个过程的概述。此外,该资产还具有一个压力指示器来帮助监控过程压力,以及一个气体流量监控器来跟踪蚀刻剂/灰分气体的流速。4600B还提供了一系列可靠的构造,以确保模型不会出现问题。它具有四区载荷锁定和重型不锈钢结构的特点，具有优异的性能和可靠性。它还有一个综合工艺排气设备和多个故障安全机制，以提高安全性和更大的运行稳定性。最后,LAM RESEARCH 4600B Etcher Asher提供了可重复、可靠的蚀刻和灰化功能,以帮助制造商在管理过程控制的同时最大限度地运行其过程。它具有用于介电和金属工作的多室设计，以及精确的微米级蚀刻和气体输送能力以及过程监测系统。该系统还采用了四区载荷锁定和重型不锈钢结构，具有优异的性能和可靠性。