二手 LAM RESEARCH 4720 #293640844 待售

LAM RESEARCH 4720是一款用于半导体制造行业的高性能蚀刻/asher设备。它配有一个8英寸的基板，一个用于多个基板加载的模具板，五个源板，以及两个用于高速晶圆蚀刻的射频发生器。该系统采用直观的开放式体系结构设计，每次传输最多可处理十六个基板。该装置还提供精确的位置控制和多气体输送能力。4720可用于等离子体蚀刻、低温蚀刻和各种基材的灰化，包括硅、钛、铝、金、铜。精密可调射频发生器为可重复蚀刻配方提供了精确控制的等离子体参数，并获得了高质量的结果。其快速、高效且无污染的蚀刻工艺可从基板表面清除任何不需要的材料,从而实现精确的设备特性。其他特性包括高精度的穿孔板以实现卓越的均匀性，以及高通量的气体输送系统以确保低耗散率。此外，该机还支持高长宽比蚀刻和通过厚层蚀刻的能力。LAM RESEARCH 4720能够对蚀刻室进行预处理、预清洗和后沉积清洗。它采用大型气泡罐和循环加热器设计，以确保浴室温度在蚀刻操作中保持稳定和一致。它还带有真空线真空接口，有助于减少污染并使工具更加可靠。集成腔室视觉资产提供了对过程的增强视图,从而实现晶圆对齐、过程监控和诊断。4720为复杂的蚀刻和清洁操作提供了卓越的准确性、可靠性和可重复性。它是满足当今先进半导体器件制造工艺要求的理想模型。