二手 LAM RESEARCH 4720 #9272634 待售

LAM RESEARCH 4720 蚀刻器/asher是一种全自动湿蚀刻设备,旨在提供无与伦比的工艺质量和高通量。这种设备能够在各种金属和电介质中执行干湿加工功能。有了多种预先编程的功能，4720 蚀刻器/asher可以处理8英寸到200毫米不等的各种晶片。该工具的快速蚀刻速率和灵活性使其非常适合高密度等离子体蚀刻、薄膜沉积、光刻灰泥和湿蚀刻等应用。LAM RESEARCH 4720 蚀刻器/asher由三个主要组成部分组成；化学输送模块、腔室组件和电源模块。化学输送模块在蚀刻过程中提供蚀刻溶液、光敏溶剂和其他化学品。腔室组件包含一个通用枪管，旨在支持广泛的蚀刻应用和工艺选项。电源模块包含一个高压电源,用于提供蚀刻过程所需的高压。该系统还支持各种后蚀刻步骤。4720 蚀刻器/asher平台使用户能够选择最佳流程配方并实时监控流程。工具的集成控制单元为用户提供了广泛的控制选项，包括控制气流和压力、控制蚀刻温度、控制蚀刻速率以及控制总处理时间。此外,用户还可以在蚀刻过程中监视进程状态、查看实时进程视频、调整进程参数或保存数据结果。LAM RESEARCH 4720 蚀刻器/asher旨在实现过程与性能的完美平衡。它旨在提供无与伦比的流程可重复性、性能、易用性和最大吞吐量。它还设计方便，安全操作和访问后蚀刻外围设备。通用的4720 蚀刻器/asher机提供了一种适合多种应用的卓越蚀刻工艺。