二手 LAM RESEARCH 4720W #9144773 待售

LAM RESEARCH 4720W是专门为去除晶圆、面膜、铝箔、玻璃等基板上的光致抗蚀剂、金属膜和其他表面层而设计的蚀刻器/粉碎器设备。它利用机械和化学技术相结合，提供高性能的蚀刻/灰化应用。4720W能够同时处理多种基材,蚀刻速率高达2 um/min,吞吐量高达每小时200个4英寸晶圆。它易于维护和全面的安全特性使其成为各种实验室和生产应用的理想选择。LAM RESEARCH 4720W由几个关键组成部分组成。其等离子体源具有两种二极管型等离子体源，一种化学氧化物灰化器（COA）和一种等离子体蚀刻器（PE）。PE源为蚀刻提供了受控且均匀的等离子体，而asher源则提供了用于光致抗蚀剂去除、金属膜蚀刻或其他灰化应用的短时化学反应过程。此外,4720W还配备了静电卡盘、气控淋浴头、晶圆卡盘夹具和排气盖。LAM RESEARCH 4720W的等离子体控制系统提供了一系列不同的工艺和参数，允许高精度的蚀刻和灰化应用。其高级过程控制器软件具有图形用户界面，用于优化配方开发和过程控制。此外，4720W还配备了三区气体和压力控制装置，用于精确的室内大气控制。LAM RESEARCH 4720W设计方便,操作安全.LCD控制器易于操作,其全面的安全功能（包括符合CE规定）使其非常适合实验室和生产环境。此外,其紧凑的设计和减少的占地面积使其易于安装和与现有生产线集成。总体而言,4720W是一台功能强大的蚀刻机/asher机,非常适合各种工艺应用。其高蚀刻速率、吞吐量和灵活的工艺使其成为实验室和生产环境的可靠选择。此外,它易于维护和全面的安全特性使其成为各种应用程序的理想选择。