二手 LAM RESEARCH 4720W #9149817 待售

LAM RESEARCH 4720W Asher是来自LAM RESEARCH的最先进的半导体湿蚀刻设备。这种湿蚀刻系统设计为在半导体工艺开始时提供高工艺均匀性和产率。4720W能够快速高效地生产薄膜,是多种工艺的宝贵工具。该单元采用三通道等离子蚀刻头设计，允许同时蚀刻多达三个模具。其先进的膜阀技术准确地提供了两种用于独立流量控制的反应性气流。这使用户可以精确定义蚀刻动力学,以实现基板表面的最大均匀性。膜阀机也减少了蚀刻工具中的颗粒污染量。LAM RESEARCH 4720W具有单晶片负载锁定功能,可方便地将在线晶片从输入级传输到高真空处理室。在该过程中，磁悬浮旋转卡盘保持基板温度均匀性。卡盘旋转扭矩经过长时间控制，进一步支撑了蚀刻结构的质量。该资产还具有低温烘烤能力，允许用户在不燃烧底层基板的情况下进行高温处理。4720W包括使用三次过滤的先进粒子管理模型。这种先进的过滤设备确保在加工过程中只向蚀刻结构输送清洁颗粒。它还最大限度地减少了工艺室内的污染。此外，LAM RESEARCH 4720W具有实时端点检测功能，可用于监控蚀刻轮廓，以及监控蚀刻过程的进展和均匀性。这种实时监控功能使用户能够快速检测任何流程转移并快速进行调整。4720W Asher是一种可靠、经济高效的半导体蚀刻工具。其先进的技术和三重过滤系统使用户能够在短时间内蚀刻高度均匀的结构。因此，半导体器件制造商在其制造过程中使用这种器件可以大大受益。