二手 LAM RESEARCH 480LRC #9187407 待售
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LAM RESEARCH 480LRC是一种蚀刻器/asher,专为半导体和其他材料而设计。它结合了蚀刻、灰化和其他过程,以创建具有非常高的重复性和准确性的精密元件。LAM 480LRC是一种坚固、高度坚固的8kW源电源蚀刻器/asher,能够在一系列基材中提供高蚀刻速率和卓越的均匀性。它具有集成的腔室设计、电子控制和报告、精确的等离子体流量控制以及先进的负载锁定能力,以提高吞吐量。LAM RESEARCH 480LRC是一种全自动蚀刻器/asher,具有单源电源和基板倾斜的单面蚀刻。它使用离子溅射和离子蚀刻原理从基板表面去除材料。倾斜的单平面蚀刻可确保所有基板表面均匀蚀刻,从而创建高质量、均匀且具有卓越可重复性的零件。蚀刻器的蚀刻速率高达8 kW, 480LRC可以快速准确地进行蚀刻,从而产生复杂的图样和非常高精度的蚀刻。此外,LAM LAM RESEARCH 480LRC还提供了许多先进的功能,使其非常适合于厚薄膜基板的蚀刻和粉刷。也可用于沟槽蚀刻、边缘修剪、高长宽比蚀刻。480LRC获得专利的气流控制系统使其成为生产光滑表面拓扑和高宽高比结构的理想选择。它还能够在保形和选择性蚀刻模式下操作,适用于多种基材。LAM RESEARCH 480LRC在各种条件和各种基材下进行可靠可靠的蚀刻。它可以处理长期蚀刻项目,提供高精度的可重复结果。其精密的控制和监控系统使它易于操作,并跟上其不断变化的参数。它具有在单个蚀刻平面上高精度蚀刻精密图桉的能力,是形成半导体元件的理想之选。LAM 480LRC具有自动电源管理系统和集成的负载锁定功能,可提高吞吐量,是可靠可靠的蚀刻解决方桉。
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