二手 LAM RESEARCH 490 / 480 #9365712 待售

LAM RESEARCH 490/480是一种高速倾斜角蚀刻器/asher，用于蚀刻钝化层等敏感材料，特别是聚酰亚胺和多晶硅。利用二元气体注入系统对蚀刻或灰化过程的化学和温度进行精确控制。490/480使用等离子体以一种速度分解材料的分子结构，通常快于湿法化学蚀刻。LAM RESEARCH 490/480设计了一个倾斜的晶圆卡带，它允许更快，更均匀的蚀刻。盒式磁带便于重新组装，便于提取装载的基板。蚀刻器倾斜的角度有助于防止因湍流引起的化学沉淀，从而导致底切和化学分离。这种设计还有助于确保在整个基板上均匀蚀刻。这种蚀刻器使用可编程的气体控制装置，该装置能够综合控制多达22种气体，从而可以应用特定于材料的蚀刻和沉积配方。配方文件允许同一进程的精确重复应用程序。此外,温度循环、远程诊断和监视以及配方存储进一步促进了优化和一致的结果。490/480可以多种模式运行，包括蚀刻、灰烬、清洁和干燥，允许多步骤过程，如原位钝化，以减少基板裸露表面的残留物。系统执行高均匀度的蚀刻到10纳米，吞吐量为每小时170个晶圆，同时消除通常与湿蚀刻方法相关的碱基侵蚀。LAM RESEARCH 490/480 蚀刻器/asher的组件包括ProFace TM显示/操作面板和支持自动晶圆级控制的E/F-32PCI板。该系统还包括一个亚微米滤波器、动态泵控制、一个平版印刷模式的Robot Loadlock，以及一个连接到主蚀刻器/垫圈腔室的PECVD腔室。490/480 蚀刻器/asher设计满足批量生产应用的严格要求，非常适合钝化、介电等细腻应用。先进的特性和受控的工艺参数提供了可靠和可重复的结果，提高了准确性和效率。