二手 LAM RESEARCH 490 / 590 #293817052 待售
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LAM RESEARCH 490 蚀刻器/asher是一种紧凑、用途广泛的等离子体蚀刻和灰化设备，设计用于研发或半导体生产。它具有多腔室设计，允许同时处理不同的材料，如半导体晶片、基板和有机物。490包括一系列使用高频等离子体的高级蚀刻和灰化工艺，以及一种化学辅助技术来实现高蚀刻选择性。该设备由PLC系统控制,占地面积小,非常适合中小型实验室。490是一个双室单元，上面有一个主反作用室和一个辅助室。主室用于涉及多达十二个2英寸晶圆的蚀刻和灰化过程。它还容纳使用顶载石英船的基材和有机物等样品。该机器还包括一个观察端口和等离子体光谱端口，以监测蚀刻过程。LAM RESEARCH 490旨在提供高精度蚀刻和灰化功能,与其他清洁系统相比,对环境的影响最小。此外,还可以借助工具的广泛支持软件有效地进行过程优化。该工艺软件允许设置工艺参数并控制蚀刻和灰化工艺。它的高级诊断功能还可以轻松识别资产的任何可能问题并快速解决这些问题。该车型还配备了先进的安全功能，如超压报警设备、温度控制器、主动气化监测等。此外,490还配备了ICED,这是一个独立的诊断系统,可帮助识别和诊断流程问题,从而实现快速解决并最大程度地减少停机时间。总体而言，LAM RESEARCH 490是研发、半导体生产和其他先进清洁应用的理想蚀刻器/asher。它提供了高效的蚀刻和灰化过程,以及广泛的过程优化软件。其先进的安全功能确保设备安全运行,对环境的影响最小。
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