二手 LAM RESEARCH 490 / 590 #9119465 待售

LAM RESEARCH 490/590是为半导体技术而设计的先进蚀刻器/asher设备。它为精密蚀刻、灰化和退火工艺提供了创新的解决方桉。它旨在蚀刻和退火极其精确的沟槽、接触孔、微孔和通孔。它还支持先进的沟槽、铜和介电蚀刻工艺。490/590型号使用GEMINI®工艺控制,这是专门为此高级蚀刻器/asher系统开发的一项尖端技术。GEMINI®是一个集成软件包,可实现卓越的流程功能和可预测的结果。它有助于优化设备性能,确保每个蚀刻或退火作业均符合规格要求。LAM RESEARCH 490/590被设计为低成本、经济实惠的半导体製造蚀刻器/asher。它可以安全地处理多达5英寸的晶片，并且通过其自动加载序列，可以最大限度地减少晶片的处理，并最大限度地提高工艺吞吐量。它采用先进的洁净室技术制造，具有高效的氮气和彗星气体扩散系统，可防止污染并提供清洁的工艺环境。490/590采用先进的蚀刻技术，具有广泛的可选工艺设置，提供卓越的效果。气流、压力、偏压和温度均可调节和监测。这些设置可以优化每个蚀刻过程,为各种应用程序提供最佳效果。LAM RESEARCH 490/590为最终用户提供了灵活性,并且能够以不同的模式进行操作。"标准模式"最好在生产多个大小和形状相似的蚀刻时，而"步进模式"则是更精确蚀刻作业的理想选择。此外，490/590还支持先进的安全功能，如气体关闭传感器、电源管理系统和自动门锁系统。此外，该机具有高效的排气工具，可防止工艺颗粒进入受控环境。综上所述，LAM RESEARCH 490/590是一项非常先进的蚀刻/asher资产。它使用GEMINI®工艺控制,一个复杂的软件包,并支持高达5英寸的晶圆。它能够对极其精确的沟槽、接触孔、微孔和通孔进行蚀刻和退火，效果极佳。此外,它还提供多种流程设置,并支持高级安全功能。总而言之，490/590是半导体蚀刻和退火应用的绝佳选择。