二手 LAM RESEARCH 490B #293829120 待售

LAM RESEARCH 490B是一种湿式化学蚀刻设备，设计用于在硅和玻璃基板上制造高精度的微结构。它有一个主动干燥站，在蚀刻过程中有助于防止液体溶液蒸发和直接接触引起的积水和沉积物污染。该系统由一个控制柜、一个蚀刻罐和一个剂量泵组成。控制柜包含液晶屏和用于编程蚀刻过程的编号符号键盘。蚀刻罐为不锈钢容器，底部呈锥形，确保适当去除蚀刻剂。与蚀刻罐相连的剂量泵用于分配调节量的蚀刻溶液。LAM RESEARCH 490/B能够在-40°至80°C的温度下蚀刻，并且能够加工200 mm以下的基板。该单元还包括一个7 µm的精密喷嘴，这有助于确保在表面均匀蚀刻，以及一个自动超声机器后蚀刻清洁。490B还配备了高级等离子体系统技术（APST）模块,该模块有助于进一步提高蚀刻均匀性,减少蚀刻速率变化,并能够将蚀刻时间控制在毫秒以内。此外,490/B还具有多种安全功能,如减压阀、紧急停止按钮、可听警报和温度传感器,以保持最佳蚀刻条件并确保操作员的安全。LAM LAM RESEARCH 490B蚀刻工具是在聚合物、硅和玻璃基板上制造高精度微结构的理想选择。