二手 LAM RESEARCH 490B #9112925 待售

LAM RESEARCH 490B是一种用于研究、开发和生产高性能电子产品的等离子体蚀刻器/asher。此模型非常适合需要在各种形状、大小和材料的基板上进行平滑甚至蚀刻的应用。它具有正交、可调电压、非谐振、全金属高频离子源，产生高速、均匀的蚀刻过程。LAM RESEARCH 490/B还具有一个自动基板对准系统，以加快基板加载时间，以及广泛的控制参数，以加强对过程的控制。490B设计为易于配置并从触摸屏终端操作。490/B具有广泛的等离子体蚀刻功能,从厚膜上的深蚀刻到薄膜上的浅蚀刻。它可以蚀刻多种材料，包括金属、玻璃、聚合物和陶瓷，使其在多种环境下用途广泛。LAM RESEARCH 490B还提供了一个可选的低温等离子体蚀刻器（LTPE），可用于蚀刻高度敏感材料或需要低温的工艺。该模型还提供了改进的蚀刻均匀性，增加了内部溷合器以均匀溷合基板周围的工作气体。LAM RESEARCH 490/B可与多种流行的蚀刻化学物质一起使用，包括四氟化碳（CF4）、六氟化硫（SF6）、氧气（O2）、氙气（Ar）和氯气（Cl2）。490B还具有洁净的房间兼容性，这使得它可以安全地在敏感区域使用。为确保安全，该系统构建了多种安全功能，包括双向隔离、气体检测、冷却系统以及多个安全联锁。490/B是创建具有卓越性能特性的产品的基本工具。其先进的蚀刻技术可以在高速下产生精确的蚀刻图样，具有极高的重复性。LAM RESEARCH具有广泛的功能、用户友好的功能和安全功能490B是众多应用程序的理想蚀刻器/攻丝器。