二手 LAM RESEARCH 496B #9268074 待售

LAM RESEARCH 496B是一种蚀刻器/灰化器，用于单晶和多晶晶片的蚀刻和灰化。该平台用于蚀刻各层薄膜，如光致抗蚀剂，用于图样定义和在氧化物层内创建某些结构。这类蚀刻器/asher利用电磁波激发反应器室内的气态分子，引起分子分解和反应，导致蚀刻或灰化过程。496B有一个由不锈钢制成的腔室，设计成可以经久耐受腐蚀。腔室由直流电源供电。此蚀刻器/asher的设计目的是提供精确、可靠和可重复的工艺结果。晶片暴露于腔室内的一系列氟基化学物质中，从而产生了一种高度可选择的蚀刻工艺，可以根据正在加工的特定基材的需要进行精确的定制。它还具有多项安全功能，包括内置气体监测设备和安全联锁系统。LAM RESEARCH 496B能够蚀刻/灰化直径不超过12英寸的晶片,每批最多可处理8个晶片。它具有一个自动晶片传输单元，允许晶片从盒式磁带快速移动到蚀刻器/asher并再次返回。该机器有一个带有直观软件的控制计算机,允许自定义蚀刻/灰化参数。此蚀刻器/asher的设计目的是提供最大的过程灵活性和可重复性,同时减少浪费和停机时间。该工具经过了广泛的测试和验证，以确保过程的准确性和可重复性以及安全标准。496B提供实验室级的准确性和性能,以确保高产量和低拥有成本。