二手 LAM RESEARCH 571-065780-702 #293668180 待售

LAM RESEARCH 571-065780-702是一种高性能、多区域的蚀刻器/asher,专为非挥发性蚀刻和/或清洁加工而设计。该设备除了两个独立的、集成的、高真空工艺模块外，还包括多种全晶片单原子和气动晶片处理能力。这些模块包括蚀刻和asher功能,允许在蚀刻和asher操作之间进行必要的快速更改。独立的工艺模块提供了灵活性和改进的吞吐量,每个模块最多可容纳两个晶圆,从而延长了蚀刻和清洁时间。每个工艺模块包括一个负载锁定室、基板传递室、冷冻蚀刻/沉积室和一个高能等离子体室。传输室配置为在标准载波上安装一个300 mm晶圆。载波可以很容易地适应其他晶圆尺寸。该发动机包括多个气体分配歧管，以增强工艺的均匀性和控制性，并能够支撑多达四个屏蔽气源，以提高工艺灵活性。蚀刻器/asher装有超高疫苗泵以方便高真空性能，这是生产高质量蚀刻所必需的。流程窗口可以通过流程控制系统进行调整，提供改进的流程控制和统一性。正如LAM RESEARCH系统所期望的那样，高精度晶圆传递单元提供了平滑、精确的运动。可调晶圆定位器具有很高的可重复性和晶圆放置精度。总体而言,571-065780-702是一款高度先进的多区域蚀刻器/asher,专为满足各种蚀刻和处理需求而设计。它提供了改进的流程一致性、可靠性和吞吐量,以及高级流程控制软件。精密晶圆转换机保证了极好的重复性和准确性，而广泛的气体分配通道保证了精密的过程控制。它是实现高质量蚀刻的绝佳选择，在工业应用中极力推荐。