二手 LAM RESEARCH 571-065780-703 #293668173 待售

LAM RESEARCH 571-065780-703是专门为等离子体蚀刻应用而设计的蚀刻器/asher。该模型具有较高的性能，其高效的20 MHz振荡器可产生纯净的低压等离子体，从而优化蚀刻速率和质量。自成一体的设计融合了三极管型电子轰击离子源、工艺室和高性能气体分配网络。采用先进的单口袋设计，在蚀刻区内实现压力、温度和气体分布的高均匀性。该型号还具有自动避免卡盘和自动晶圆传输设备。这种功能的组合保证了在各种工艺条件下提高蚀刻质量。571-065780-703还具有一个先进的双室处理室,使两个并行进程能够同时运行。在执行多个进程时,此功能可实现更高效的吞吐量以及更高的质量和吞吐量。该工艺室还包括一个热屏障，作为来自等离子体的保护屏蔽，确保整个工艺区域的温度均匀。还包括热电冷却系统，以减少由等离子体引起的加热效果。整个单元封闭在低材料环境中，进一步提高了蚀刻效率和产品质量。LAM RESEARCH 571-065780-703还配备了先进的控制软件，允许自动化的过程控制和配方技术以获得最佳的蚀刻结果。这台机器包括直观的人机界面，能够对蚀刻工艺参数和配方进行高效、精确的控制。此外,这种最先进的控制工具允许用户根据各自的生产需求和要求自定义蚀刻参数。总体而言，571-065780-703是高流量等离子体蚀刻应用的无懈可击的蚀刻器/灰化器。它以其高效、卓越的工艺控制以及在广泛的蚀刻条件下保证质量和均匀性的能力而闻名。