二手 LAM RESEARCH 580 #9268110 待售

LAM RESEARCH 580是一种蚀刻/粉碎器设备,旨在使集成电路制造商能够在其制造过程中以更高效、更准确的方式处理蚀刻和粉碎层。该系统采用先进水平检测、蚀刻、灰分技术的工艺细微差别设计，保证了在众多行业应用的高质量生产。它提供了一个能够进行多种工艺步骤的集成单元，包括光刻、蚀刻、蚀刻、计量和灰烬。该机处理面积大，为330毫米x 330毫米，可容纳各种晶片，直径可达500毫米。580具有功能丰富、高效、精确的运动控制能力,由高性能直线电动机提供动力,可提供位置、速度和力控制,在精度和可靠性方面均达到最佳效果。还包括一个自动晶圆对准工具，旨在提高整个过程的精度和准确性。该资产还提供各种蚀刻和灰分化学物质，以提供最大程度的加工灵活性。此外,LAM RESEARCH 580还提供了多种专有配方和工艺工具,如OPC模式处理、弧形条纹专用源和位置纠错。这些工具有助于提高蚀刻精度和吞吐量。该模型还采用了先进的计量和检查工具，如最先进的光学、电容和电阻传感器，以最大限度地提高晶圆质量，最大限度地减少浪费和返工。此外，这一设备还具备若干安全和环境特点，包括内部化学品管理系统、惰性气体净化和安全密封选项。这些功能有助于确保安全和环保操作。580是一个可靠、功能丰富的单元,旨在满足各种应用程序的工艺要求。它可以提供一套功能和工具,使光刻、蚀刻、灰烬和计量过程步骤易于使用且价格合理。