二手 LAM RESEARCH 590 #293595902 待售

LAM RESEARCH 590 蚀刻器/asher是一种常用于半导体製造的先进设备。它是一种化学湿蚀刻机，能够从1-2000纳米的宽度蚀刻特征。蚀刻工艺用于有选择地从基板上去除材料，从而在这些基板上精确形成图样化的特征。590配备了广泛的功能，以支持蚀刻和ashing。它具有针对低蚀刻速率优化的干蚀刻室和双激光-微波等离子体蚀刻技术，能够实现更高的蚀刻速率和优越的薄膜线缘-粗糙度控制。它还包括一个高度可配置的前端和一个集成的射频偏置模块。为了保证高质量的蚀刻，它采用了自动压力侧等离子体控制和专利控制设备来优化蚀刻时间。不锈钢湿蚀刻室内置了一个用于金属蚀刻作业的电沉积模块，最大程度地提高了选择性。此外，该机器还能够为各种材料的适当蚀刻环境提供一系列的加工气体和压力。它还具有风冷射频发生器和用于精确气流的气体溷合面板。LAM RESEARCH 590提供高级流程控制和监控功能,并提供实时流程反馈。它具有强大的高级计算机控制系统，使用户能够控制和监控所有蚀刻过程。综合单元包括安全的高速通信以及先进的安全系统，包括真空试验机、安全联锁和蚀刻气体输送工具。590是晶圆蚀刻和灰化的绝佳机器。它以快速的蚀刻循环时间提供了优越的效果，使其成为半导体制造中的宝贵资产。LAM RESEARCH 590具有先进的特点、坚固的设计和易用性,是蚀刻和灰化的绝佳选择。