二手 LAM RESEARCH 590 #293604251 待售

LAM RESEARCH 590是半导体製造工艺的先进蚀刻器/asher。它的设计提供精确的蚀刻和灰度极小的特点，极精确。该设备集成了一个独特的功能集,可提供低停机时间的可重复、高质量的蚀刻结果。该系统有一对真空兼容的两轴线性馈线，作为基板的舞台。这些送料机用于调整生产速度和准确定位基板。590还有三个高性能的手动/远程扫描阶段,可提供精确的蚀刻规划。LAM RESEARCH 590的高性能蚀刻单元使用多晶硅剥离、硅湿喷雾清洁剂和Plasma Plus工艺的溷合物从基材中去除材料。该工艺具有可单独调整的蚀刻参数和较高的生产率。该机还具有多站灰井，用于消除蚀刻特征中不必要的材料。590提供独特的功能,例如石英管蚀刻和自宽蚀刻类型。这些模式使用户能够以最小的设置快速准确地生成复杂的模式。LAM RESEARCH 590还有一个基板对准检测工具，用于监测和调整蚀刻过程中基板的位置。该资产还允许用户在蚀刻过程中调整生产率。该模型采用高压夹具技术，确保人员和基板在蚀刻过程中的安全。设备有各种各样的不同配方，用户可以对其进行编程，以达到所需的蚀刻效果。这些配方可以从制造商处下载，也可以由用户开发。此外,系统还支持使用定制的脚本和算法,这些脚本和算法可以减少蚀刻时间并产生更高质量的结果。总之,590是一种可靠、高性能的蚀刻器/蚀刻器,旨在提供准确、可重复的蚀刻结果。该设备具有一系列强大的功能，使其成为最先进的半导体制造系统之一。它还具有用户友好的编程界面和强大的自定义配方,允许用户以最高的安全性、准确性和速度获得最佳效果。