二手 LAM RESEARCH 590 #293604252 待售

LAM RESEARCH 590是一种asher，用作在材料表面上蚀刻/制图电子元件的过程的一部分。它是一个单晶片的asher，意味着它一次只能处理一个晶片。这提供了更好的工艺控制的优点，从晶圆到晶圆的变化较小，因为一次只有一个晶圆存在于工艺室内。590装有抗蚀剂预烤室、等离子发生器、气体歧管。预烤室用于加热基板表面，以更好地粘附光刻胶。等离子体发生器利用RF和DC电场等能源、化学反应物和工艺气体的组合创造等离子体环境。气体歧管以正确的流量和比例向等离子体发生器供应过程气体。LAM RESEARCH 590的设计支持多种蚀刻工艺，如氧化物蚀刻、氧化物灰、氧化物条和氮化物灰。这是由于其广泛的加工能力，涵盖了广泛的加工气体，如氯、NF3和CF4and两种温度选择：低（25 °C）和高（90 °C）。低温选项提供了更高的过程可控性。此外，590还配备了几个过程监控功能，如实时自动调谐、实时数据记录（DC<-400v）、晶圆检测监控系统（WIMS）。这些功能为用户提供详细的过程控制和性能数据。LAM RESEARCH 590提供了一个可靠且一致的工艺,用于在材料表面上蚀刻和制图电子元件。RF电源高达550W,过程温度高达90°C, 590提供了出色的过程控制和可重复性。LAM RESEARCH 590还配备了多种流程监控选项和功能，使用户能够根据自己的特定应用需求量身定制流程。