二手 LAM RESEARCH 590 #293604302 待售

LAM RESEARCH 590 Etcher/Asher是一款双盒式蚀刻设备,可提供高性能和灵活性,适用于各种应用中的蚀刻和灰化工艺。590旨在为需要在干燥和潮湿环境中进行高通量蚀刻和灰化的组织提供高效、经济高效的解决方桉。该系统采用直观的软件界面构建,可轻松与自动晶圆处理系统集成,以降低人为错误的风险。它在温度控制、气体和排气系统、晶圆材料处理、运行结束操作和诊断等方面是通用、模块化和可定制的。LAM RESEARCH 590是由蚀刻区、清洁区和烘烤区组成的三区机优化而成的高容量蚀刻和灰化装置。蚀刻区提供了一个快速蚀刻过程，通过负载锁定工具，最多三个卡带，允许同时蚀刻多达24个晶圆在一个蚀刻周期。洁净区设有气体氧化装置，以将材料从要重新蚀刻的晶片表面清洁剥离。最后，烘烤区提供易于使用的烘烤资产，烤箱大小的温度均匀度± 3°C。590还包括一个新的创新气体管理模式，用于控制和监测蚀刻过程环境气体流量和压力。这允许用户在设备内保持晶片上的正压边界，以增强工艺一致性，同时仍然允许蚀刻剂和工艺废气的回收利用。最后,LAM RESEARCH 590提供干灰和湿灰操作。这允许用户在实验中实现完美的可重复性，进行快速、高效的蚀刻操作，或者选择任何类型的干式或湿式蚀刻工艺。这使得使用590进行各种蚀刻和ashing操作变得简单，允许用户进行重复的测试运行，快速调整参数和优化过程结果。