二手 LAM RESEARCH 590 #9145838 待售

LAM RESEARCH 590 蚀刻器/asher是一种自动化的、高性能的等离子体蚀刻和/或灰化设备。它旨在满足最先进的半导体器件制造商的苛刻要求，可以同时支持研发和生产应用。590以经济高效的方式利用最先进的技术,提供卓越的性能和过程灵活性。硬件方面，LAM RESEARCH 590由配备上下电极组件的真空室、直流和射频电源以及一系列工艺-气体控制和输送选项组成。该系统有两个不同的处理室：一个专用的等离子体蚀刻室和一个专用的等离子体灰化室。蚀刻器配有高端射频发电机和专有的电极组件，而asher则包括定向直流电源。腔室配有热壁泵机，可提高工艺吞吐量，减少整体维护。此外,该机器还具有一系列工艺-气体控制和输送选项,包括用于优化性能的定时喷射工具。在蚀刻工艺方面，590利用基于汞的射频电源资产和设计的放电产生高度均匀的蚀刻轮廓，具有精确和可重复的深度控制。LAM RESEARCH 590通过将电源与先进的闭环过程控制模型耦合,实现了对整个晶片的蚀刻速率和轮廓的精确控制。这种硬件和过程控制功能的独特组合,可提高吞吐量、提高过程稳定性,并在工作温度始终远低于目标温度的情况下提高蚀刻速率。590还配备了先进的蚀刻回收设备,具有自动维护和验证功能。该系统允许从任何流程异常中快速恢复,并具有全面的设备和流程诊断功能。此外,该设备还包括一台真正的闭环过程控制机,可实现快速、准确的过程诊断。总体而言,LAM RESEARCH 590是一款最先进的蚀刻器/asher,它以经济高效的方式提供高性能和过程灵活性。硬件和过程控制工具可确保出色的蚀刻一致性和可重复的深度控制,而蚀刻恢复资产可在任何过程异常的情况下实现快速、准确的恢复。590是任何希望达到最大工艺性能和效率的实验室或生产环境的绝佳选择。